可调支架,大光圈

两轴可调支架提供±1.5°提示/倾斜调整和在12日,18日,24日,32英寸大小。18和24英寸支架包括空气轴承界面。机动选项可以有单一的双控制器的位置(本地和远程)。自动控制选项使机动控制所有系统和自动提示/倾斜调整相机系统与640 x480分辨率和更高。所有系统是普遍存在的,并且可以设置为运行在100/120V或220/240V.

光束扩展器选项

4英寸的光束扩展器扩展输出光束干涉仪用于大光圈系统。在一些配置,安装硬件传输元素扩展器的一部分。12英寸和18英寸扩展器可与PMR(相位调制插座)机械测量阶段。光束扩展器没有PMR干涉仪可以集成与波长变化,或用于简单的边缘计量。所有扩展器与ZYGO干涉仪使用FlashPhase软件兼容

G P I & V E R I F I R E A C C E S S O R I E S

曲率半径的选择

短半径工具包(垂直)

P/N 6500-0165-02

P / N 6500-0651-01机动Z选项

4英寸的短半径工具包GPI或VeriFire。它是用来测量干涉仪的半径垂直取向。组件包括:基板,三个1.5米棒,XYZ阶段安装在支持武器,编码一个150毫米的规模,一个编码器显示、RS232通信硬件。读出的分辨率1µm规模。一个f / 0.65或者f / 0.75传输领域,分别可用,是必需的。

数字半径范围内,1米(水平)

P/N 6090-0246-01

数字半径范围内由一个磁数字规模位置反馈,安装在导杆固定在花岗岩或光学表。酒吧是用来指导硬件安装在直线测量半径。山的距离从猫眼路标位置共焦位置的曲率半径测试下一部分。规模10µm读出的分辨率。

短半径工具包,

显示可选的机动Z

 对分辨率和精度

分辨率是 小的增量所公认的规模。精度测量的统计误差的读数。精度取决于很多因素,如:导杆的直线度、平面度的表或花岗岩,天平的安装和校准干涉仪,和环境条件。

通常情况下,部分的半径越小,测量的准确性就越大.

 数字半径范围内,1米,显示5轴载和自动定心元素部件

数字范围半径w /编码器,2米(水平)

P/N 6090-0259-01

这个数字半径的比例(DRS)选项包括精度Heidenhein密封位置反馈线性编码器,安装在导杆固定在花岗岩或光学表。酒吧是用来指导安装在直线测量半径。山的距离从猫眼路标位置共焦位置的曲率半径测试下一部分。这个位置显示在数字读出数据,可以传播到MetroPro软件计算机计算。读出的分辨率1µm。

数字与编码器半径范围内,2米有可选的5轴安装。

干涉半径幻灯片(IRS)(水平)

P/N 6090-0232-10

干涉半径幻灯片(IRS)使用位置反馈的外差式激光位移测量干涉仪。在猫眼路标位置和共焦测量位置,计算定位误差和减去,曲率半径结果计算了MetroPro软件。幻灯片的分辨率10纳米。

美国国税局包括:一个激光头国税局底板和线性干涉仪光纤传感器,一个目标反光镜,ZMI PCI测量板,和必要的接口电缆。导杆,分别可用,是必需的。

干涉半径幻灯片,底板、线性干涉仪和激光头。

注意回射器安装在高精度山。

 导杆(IRS)所需

1米6090-0246-02 P / N

2米6090-0246-03 P / N

导杆是用来指导高精度挂载在直接路径的曲率半径测量干涉半径(IRS)。酒吧是一个精密地面钢筋与附件的腿1英寸中心安装一个光学表。它有1米或2米长度。