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更环保、可靠性更加、总体成本更低

portant;">我们的创新干式泵浦系列为您带来了旨在改善半导体和电子产品制造环境的 技术。 每个系列都经过专门设计，可为您带来环境绩效、恶劣条件下的可靠性以及在轻型应用中的敏捷性等优势。

inkMacSystemFont, " segoe="" ui",="" arial,="" sans-serif;="" white-space:="" normal;="" background-color:="" rgb(255,="" 255,="" 255);="" line-height:="" 1.35="" !important;"="">iXM 低能耗干式泵浦可为您的 关键应用带来真正的过程改进，从而增加正常运行时间，减少对环境的影响并降低成本。

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• 节能根源机制可以减少多达 60% 的输入功率，从而减少对环境的影响并降低拥有成本

• 气体阻隔技术和热设计方面的改进使抗腐蚀性比以前的系列提高了四倍

• 先进的粉末处理功能可为多层蚀刻工艺提供的可靠性并延长泵浦的使用寿命，还可减少 CVD 工艺的功耗

• 紧凑轻巧的设计，加上极低的噪音和振动，为您带来更多功能

• 提供 Xcede 技术以增强抗腐蚀性。