X/Y/Z测量行程

400╳400╳200mm

Z轴行程

调焦行程200mm(可根据客户要求定制加高)

XY轴基座

00级济南青大理石

仪器底座

00级济南青大理石

玻璃台面尺寸

480╳480mm

玻璃台承重

30kg

传动型式

 P级精密线性导轨

 C5级研磨滚珠丝杆

原装进口轴承

(可选配手持式移动摇杆操作)

金属贴片光学尺

X/Y轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）

Z轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）

X/Y线性测量精度(μm)

≤2.8+L/200

机台定位精度(μm)

≤2.8

重复精度(μm)

≤2.8

电机

高性能双闭环CNC伺服系统

    X/Y轴采用HCFA高性能400W伺服电机，双重闭环控制系统

  Z轴采用HCFA高性能(带刹车)100W伺服电机，双重闭环控制系统

摄像机

 1/3”超清彩色工业数字相机

测量软件

自主研发全自动影像软件

（测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统）

镜头

全自动变倍镜头(可选配同轴光、探针、镭射头、激光定位导航)

光学放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率30-300X

放大倍率为近似值，与显示器的尺寸及分辨率相关，

可通过选配0.5X/2X物镜，实现放大倍率15-150X/60-600X

光源系统

表面光源：5环8区LED冷光源，255级独立调节

轮廓光源：LED绿色冷光源，255级独立调节

仪器外形尺寸（L*W*H）

1230╳820╳1850mm

仪器重量（kg）

400kg（保证机台高速运行时的稳定性）

电源

AC220V/50HZ　AC110V/60HZ

电脑

intel I5高端主机

显示器

27寸

质保

整机质保1年

影像视频卡

intel千兆网卡

电源开关

台湾铭纬 MW 12V-24V，漏电、短路保护

电源滤波器

X、Y、Z共3组独立滤波器（抗电流干扰）