portant; position: unset !important;">离子束加工的原理与电子束加工基本类似，也是在真空条件卜将离子源产生的离子束经加速聚焦，harmonic自动清洗机谐波单元CSF-65-160-GH使之打到工件表面。所不同的是，除离子与电子电荷相反而带正电外，主要是离子的质量远比电子f大，高速电子在掩击工件材料时，因质鼠小、速度大harmonic自动清洗机谐波单元CSF-65-160-GH，所以动能几乎全部转化为热能，使工件材料局部熔化和气化，即通过热效应来进行加工;而离子本身质量较大，撞击工件材料时能引起变形、分离、破坏等即用机械作用来进行加工。

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portant; position: unset !important;">    用不同的加速电压加速，可以获得不同能量的离子束。harmonic自动清洗机谐波单元CSF-65-160-GH若改变离子束的人射方向，就可以实现离子注人、离了切削、溅射镀祖等离子加工。

portant; position: unset !important;">柔性制造系统简称FMS是由加工系统(由一组数控机床和其他自动化工艺设备如清洗机