| 品牌 : | zygo | 型号 : | gpi100 |
| 加工定制 : | 是 | 尺寸 : | 300*1000 |
| 材质 : | 钢 | 用途 : | 检测光圈 |
可调支架,大光圈
两轴可调支架提供±1.5°提示/倾斜调整和在12日,18日,24日,32英寸大小。18和24英寸支架包括空气轴承界面。机动选项可以有单一的双控制器的位置(本地和远程)。自动控制选项使机动控制所有系统和自动提示/倾斜调整相机系统与640 x480分辨率和更高。所有系统是普遍存在的,并且可以设置为运行在100/120V或220/240V.
尺寸 | 可调节扳手 | 机动提示/倾斜 | 机动提示/倾斜 | 自动提示/倾斜 | 自动提示/倾斜 | |
（两轴联动底座）, | 选项 | 选择，两个 | 选择，单 | 选项，单 | ||
手动操作 | 控制器 | 位置控制器, | 用控制器 | 用控制器 | ||
不是自动的 | 不是自动的 | 30英寸的电缆 | 70英寸的电缆 | |||
12 inch | 6068-0351-01 | 6068-0411-03 | 6068-0411-07 | 6068-0411-21 | 6068-0411-17 | |
18 inch | 6068-0382-01 | 6068-0411-04 | 6068-0411-08 | 6068-0411-22 | 6068-0411-18 | |
24 inch | 6068-0356-01 | 6068-0411-01 | 6068-0411-05 | 6068-0411-23 | 6068-0411-19 | |
32 inch | 6068-0335-01 | 6068-0411-02 | 6068-0411-06 | 6068-0411-24 | 6068-0411-20 | |
光束扩展器选项
4英寸的光束扩展器扩展输出光束干涉仪用于大光圈系统。在一些配置,安装硬件传输元素扩展器的一部分。12英寸和18英寸扩展器可与PMR(相位调制插座)机械测量阶段。光束扩展器没有PMR干涉仪可以集成与波长变化,或用于简单的边缘计量。所有扩展器与ZYGO干涉仪使用FlashPhase软件兼容
尺寸 | 描述 | P/N | |
12 inch | w/o 型 PMR | 6068-0417-01 | |
12 inch | 用 PMR | 6068-0417-02 | |
18 inch | w/o型 PMR | 6068-0418-01 | |
18 inch | 用 PMR | 6068-0418-02 | |
24 inch | w/o PMR | Contact ZYGO | |
32 inch | w/o PMR | Contact ZYGO | |
G P I & V E R I F I R E A C C E S S O R I E S
曲率半径的选择
短半径工具包(垂直)
P/N 6500-0165-02
P / N 6500-0651-01机动Z选项
4英寸的短半径工具包GPI或VeriFire。它是用来测量干涉仪的半径垂直取向。组件包括:基板,三个1.5米棒,XYZ阶段安装在支持武器,编码一个150毫米的规模,一个编码器显示、RS232通信硬件。读出的分辨率1µm规模。一个f / 0.65或者f / 0.75传输领域,分别可用,是必需的。
数字半径范围内,1米(水平)
P/N 6090-0246-01
数字半径范围内由一个磁数字规模位置反馈,安装在导杆固定在花岗岩或光学表。酒吧是用来指导硬件安装在直线测量半径。山的距离从猫眼路标位置共焦位置的曲率半径测试下一部分。规模10µm读出的分辨率。
短半径工具包,
显示可选的机动Z
对分辨率和精度
分辨率是 小的增量所公认的规模。精度测量的统计误差的读数。精度取决于很多因素,如:导杆的直线度、平面度的表或花岗岩,天平的安装和校准干涉仪,和环境条件。
曲率半径的选择 | 精度范围 | ||
数字半径范围 | ≥ 200 µm | ||
短半径工具包 150 mm | 10-20 µm | ||
编码DRS,2米 | 50-150 µm | ||
干涉半径幻灯片 | 大3um或0.001% | ||
通常情况下,部分的半径越小,测量的准确性就越大.
数字半径范围内,1米,显示5轴载和自动定心元素部件
数字范围半径w /编码器,2米(水平)
P/N 6090-0259-01
这个数字半径的比例(DRS)选项包括精度Heidenhein密封位置反馈线性编码器,安装在导杆固定在花岗岩或光学表。酒吧是用来指导安装在直线测量半径。山的距离从猫眼路标位置共焦位置的曲率半径测试下一部分。这个位置显示在数字读出数据,可以传播到MetroPro软件计算机计算。读出的分辨率1µm。
数字与编码器半径范围内,2米有可选的5轴安装。
干涉半径幻灯片(IRS)(水平)
P/N 6090-0232-10
干涉半径幻灯片(IRS)使用位置反馈的外差式激光位移测量干涉仪。在猫眼路标位置和共焦测量位置,计算定位误差和减去,曲率半径结果计算了MetroPro软件。幻灯片的分辨率10纳米。
美国国税局包括:一个激光头国税局底板和线性干涉仪光纤传感器,一个目标反光镜,ZMI PCI测量板,和必要的接口电缆。导杆,分别可用,是必需的。
干涉半径幻灯片,底板、线性干涉仪和激光头。
注意回射器安装在高精度山。
导杆(IRS)所需
1米6090-0246-02 P / N
2米6090-0246-03 P / N
导杆是用来指导高精度挂载在直接路径的曲率半径测量干涉半径(IRS)。酒吧是一个精密地面钢筋与附件的腿1英寸中心安装一个光学表。它有1米或2米长度。